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Feliz Natal e Próspero 2010

Fundamental Principles of Engineering Nanometrology

Fundamental Principles of Engineering Nanometrology Autor: LEACH
Editora: William Andrew - 2010
ISBN: 9780080964546
Área: Ciência dos Materiais
N. Páginas: 350 pags
Valor:
R$532,80

Sob Encomenda

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Prazo de entrega:
Livros nacionais: 30 dias úteis.
Livros importados: 60 dias úteis.


Table of Contents
Introduction to metrology for micro- and nanotechnology
Some basics of measurement
Precision measurement instrumentation - some design principles
Length traceability using interferometry
Displacement measurement
Surface topography measurement instrumentation
Scanning probe and particle beam microscopy
Surface topography characterisation
Co-ordinate metrology
Mass and force measurement
References
Appendix A: SI units of measurement and their realisation at NPL
Appendix B: SI derived units

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